台积电称将在2024年获得艾司摩尔最先进的EUV光刻机设备

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台积电 - 俄罗斯卫星通讯社, 1920, 17.06.2022
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据路透社报道,全球最大的芯片制造商台积电研发资深副总经理米玉杰在一个会议上表示,该公司将在2024年获得艾司摩尔(ASML)的新一代最先进光刻机。
米玉杰并未说明该设备将在何时用于批量生产。
台积电业务开发资深副总经理张晓强稍后做出澄清,表示台积电不会在2024年准备好将新的高数值孔径EUV光刻机用于生产,该设备将主要用于与合作伙伴的研究目的。
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