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中国首台国产场发射透射电镜诞生，将为半导体工业等提供有力支撑

中国首台国产场发射透射电镜诞生，将为半导体工业等提供有力支撑

俄罗斯卫星通讯社

据中国媒体报道，1月20日，中国首台国产商业场发射透射电子显微镜TH-F120在广州市黄埔区正式发布。该透射电镜由生物岛实验室领衔研制，拥有自主知识产权，将打破国内透射电镜100%依赖进口的局面，标志着中国已掌握透射电镜用的电子枪等核心技术，并具备量产透射电镜整机产品的能力。 2024年1月22日, 俄罗斯卫星通讯社

2024-01-22T10:45+0800

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报道指出，透射电镜具有极高的行业垄断性与技术门槛，国外等知名品牌企业占据着全球透射电镜市场的主要份额。此前，中国透射电镜100%依赖进口，国产化尚属空白。此次推出的首款透射电镜新品TH-F120，拥有自主研制的高亮度场发射电子枪，相比于同级进口产品的热发射电子枪，亮度更高，发射稳定性和相干性更优，匹配自主研制的电磁透镜系统，针对120kV成像平台特别优化电子光学设计，可为用户带来更佳的图像衬度和分辨率。自主研制的高稳定性低纹波高压电源，实现了高压自动控制，保证电子枪稳定发射。同时，标配自主研制的高像素CMOS相机，在低电子剂量的工况下仍可呈现丰富的样品细节。该透射电镜将为中国在材料科学、生命科学、半导体工业等前沿科学及工业领域的高质量发展提供有力支撑。据《南华早报》报道，这一进展也反映了面对激烈的国际竞争和美国的限制，中国在关键技术方面的快速进步。科技新闻网站AZoNano指出，显微镜将电子束穿过极薄的样本，生成高分辨率图像，这是开发新型纳米结构半导体材料的核心技术。透射电子显微镜和扫描电子显微镜曾被列入中国国家35项“卡脖子”技术之一。显微镜技术的主要全球参与者包括日本公司JEOL和日立，以及美国公司FEI。据《广州日报》报道，2022年，中国进口透射电镜约300台，进口总额超30亿元人民币，预计2022年至2028年期间，年复合增长率超5.8%。根据去年发布的一份行业报告，显微镜的全球市场价值为8.25亿美元，预计到2028年将超过10亿美元。在过去的三年里，生物岛实验室一直引领着中国显微镜技术的开发，成为中国第一家进入该市场的企业。 在过去的一年里，美国及其盟友以国家安全为由，加强了对中国获得先进芯片和相关设备的限制。在“国家工程师奖”首次评选表彰之际，中国国家主席习近平作出重要指示。他表示，希望全国广大工程技术人员勇于突破关键核心技术，加快实现高水平科技自立自强，服务高质量发展，为以中国式现代化全面推进强国建设、民族复兴伟业作出更大贡献。

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